Laboratorní zařízení pro přípravu tenkých vrstev vysokoteplotních supravodičů na bázi směsných oxidů metodou chemické depozice z plynné fáze

Autoři

  • Josef Stejskal Ústav anorganické chemie, Vysoká škola chemicko-technologická, Praha, Česká republika

Abstrakt

An apparatus for deposition of 31igh-temperature superconducting thin films in the Y-Ba-Cu-O, Bi-Sr-Ca-Cu-O and Ti-Ba-Ca-Cu-O systems by metal-organic chemical vapour deposition (MOCVD) is presented. The reliability of the apparatus was verified by deposition and characterization of the CuO, Cu-Sr-O and Bi-Sr-Ca-Cu-O thin films. The apparatus will be used for preparation and study of Y-, Bi- and Tl-based oxide superconductor thin films.

Stahování

Publikováno

15.01.1999

Jak citovat

Stejskal, J. (1999). Laboratorní zařízení pro přípravu tenkých vrstev vysokoteplotních supravodičů na bázi směsných oxidů metodou chemické depozice z plynné fáze. Chemické Listy, 93(1), 36–39. Získáno z http://w.chemicke-listy.cz/ojs3/index.php/chemicke-listy/article/view/2643

Číslo

Vol 93 No 1 (1999)

Sekce

Články